1.真空泵的工作壓力應滿足真空設備的*限制真空和工作壓力要求。例如，真空涂層需要1×10-5mmHg的真空度，所選真空泵的真空度小于5×10-6mmHg。泵的真空度通常高于真空設備。

　　2.正確選擇真空泵的工作點。每個泵都有一定的工作壓力范圍。例如，擴散泵為10-3~10-7mmHg。在此寬壓范圍內(nèi)，泵的泵速隨壓力而變化，其穩(wěn)定工作壓力范圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因此，泵的工作點應在此范圍內(nèi)選擇，而不是在10-8mmHg下長期工作。例如，鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作壓力應小于1×10-5mmHg。

　　3.在工作壓力下，真空泵應能夠排出真空設備過程中產(chǎn)生的所有氣體量。

　　4.正確組合真空泵。由于真空泵有選擇性泵送，有時選擇泵不能滿足泵送要求，需要多個泵組合，相互補充以滿足泵送要求。例如，鈦升華泵對氫的泵送速度很高，但不能吸收氦，而三*濺射離子泵(或二*不對稱陰*濺射離子泵)對氬有一定的泵送速度。當兩者結合時，真空裝置將獲得更好的真空度。此外，一些真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空;一些真空泵的出口壓力低于大氣壓，需要前泵，因此需要組合泵。

　　5.真空設備對油污染的要求。如果設備嚴格要求無油，應選擇各種無油泵，如水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇油泵，防油污染措施，如冷陷阱、屏障、屏障等，也可以滿足清潔真空的要求。

　　6.了解抽氣成分，氣體是否含有冷凝蒸汽、顆粒粉塵、腐蝕性等。在選擇真空泵時，需要了解氣體成分，并選擇相應的泵進行抽氣。如果氣體含有蒸汽、顆粒和腐蝕性氣體，則應考慮在泵的進氣管道上安裝冷凝器、除塵器等輔助設備。

　　7.真空泵排放的油蒸氣對環(huán)境有什么影響?如環(huán)境不允許污染，可選擇無油真空泵或?qū)⒂驼魵馀欧诺绞彝狻?/span>

　　8.真空泵工作時產(chǎn)生的振動是否會影響工藝和環(huán)境。工藝不允許的，應選擇無振動泵或采取防振措施。

　　9.真空泵的價格。運行和維護費用。